ISIS sentronics SemDex 151 硅晶圆片 弯曲度 厚度涂层测试仪

ISIS sentronics   SemDex 151  硅晶圆片 弯曲度 厚度涂层测试仪

 
SemDex 151
半自动台式硅晶圆片/薄膜检验系统
?	手动装载，全自动测量
?	紧凑型台式测量设备，带有优化的封装方案
?	测量硅晶圆片规格可达150 mm (6")，也可以对聚合物进行测量
?	加框硅晶圆片和未加硅晶圆片
?	单传感器配置（可选购附加传感器）
?	可选购真空夹盘
?	可选购集成的用于晶片固定的真空发生装置
?	可选购带有高分辨率的HD CMOS摄像机
?	带有空气弹簧并且具有抗扭强度的测量板，测量操作过程中不会发生摇摆
?	集成安装于夹盘中的校准体
?	可提供带涂层钢质外壳
?	软件易操作：WaferSpect/ StratoSpect
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Industries / Applications:
硅晶圆片
?	光学检测和模式识别
?	基底层厚和总厚度变化（TTV）
?	弯曲度/翘曲度与张力
?	硅穿孔/凸块
?	粗糙度
?	薄膜和涂层